合閥，羅茨泵的功能將更加完備：羅茨真空泵;溢流閥;旁通組合閥羅茨真空泵(以下簡稱羅茨泵作為中真空的增壓泵，溢流與旁通是兩個重要功能，過去把溢流閥誤稱旁通閥，實際上羅茨泵本身并無旁通的功能，只有通過本文的介紹，將溢流閥進行改造設(shè)計，才把這兩個功能很好地結(jié)合在一起提前起動羅茨泵，這當(dāng)然可以提高一些抽速，但從羅茨泵零流量壓縮比特性和抽速特性曲線上可以看到在6<103Pa(45Ton.)時抽速已不多了，到104Pa時，已作用不大了，過去把羅茨泵定在1tfPa左右起動，壓縮比達30，抽速近百分之五十，羅茨泵的功能明顯反映了出來，這是很科學(xué)的。試圖提前起動，甚至與前級泵同時起動，盡管溢流閥起作用，但此時的羅茨泵功率顯然是很大，羅茨泵的損傷是不言而喻的，以此來取代旁通顯然是得不償失的。只有把溢流和旁通很好結(jié)合起來才能真正實現(xiàn)“旁通'那才是好的辦法1溢流和旁通的各自功能因為羅茨泵從十幾托到中真空范圍作增壓之用，以減少功耗提高抽速，達到節(jié)能的作用。它選擇的功率與之相匹配，電動機選擇得比較小，而當(dāng)羅茨泵起動時，尤其是在沒有達到預(yù)真空值時，將使電動機嚴重超荷，甚至使電動機燒壞有了溢流閥，若壓差太大時，閥就起跳，使羅茨泵過高的排壓返回到進氣一側(cè)，達到減荷的目的，從而起到保護電動機的作甩而旁通則不然，其工作原理見在羅茨泵的進氣側(cè)與排氣側(cè)，另設(shè)一旁路通道，讓預(yù)抽真空泵與工作室相通，管道中裝了截止閥預(yù)真空泵開始工作時，截止閥打開，直接通過旁路管道抽氣，當(dāng)預(yù)抽到一定值后即10Torr左右，關(guān)閉截止閥，然后起動羅茨泵旁通的目的是減少預(yù)真空時間，提高生產(chǎn)效率，作為生產(chǎn)周期較短的大型真空系統(tǒng)，這一功能是至關(guān)重要的然而，采用這一方法，對設(shè)備制造者來講提高了生產(chǎn)成本，對操作者來講是麻煩的(見)2組合閥的構(gòu)造溢流閥有多種結(jié)構(gòu)，有采用彈簧壓著閥蓋的，也有干脆采用自重式的，總之溢流閥的結(jié)構(gòu)很簡單。為了達到旁通的目的，在溢流閥的法蘭體上開出孔道，平面上裝上逆止閥片彈簧的彈力不宜過大，讓閥片與平面能接觸即可?？椎烂娣e大小與前級泵相匹配，因為預(yù)真空階段僅在粘滯流態(tài)的粗真空范圍，不必太大安裝閥片的蓋板尺寸，應(yīng)小于羅茨泵溢流閥原通道口徑，使逆止閥通過該孔徑能很順暢其工作原理見通過上述方法，就可把溢流和旁通兩種功能很好地結(jié)合在一起了。當(dāng)預(yù)真空開始時，逆止閥片打開，使預(yù)抽泵與真空室得到了連通如果壓差太大，溢流閥仍起著原來的作用，把逆止閥一起帶動跳起羅茨泵起動后，進氣側(cè)的壓力始終比排氣側(cè)低，所以逆止閥相應(yīng)得到很好的關(guān)閉。這種逆止閥開閉并不頻繁，使用壽命可想是足夠長的。