真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)中應(yīng)該注意的問題

(1)真空元件，如閥門、捕集器、除塵器和真空泵等相互聯(lián)接時(shí)，應(yīng)盡量作到抽氣管路短，管道流導(dǎo)大，導(dǎo)管直徑一般不小于泵口直徑，這是系統(tǒng)設(shè)計(jì)的一條重要原則。但同時(shí)要考慮到安裝和檢修方便。有時(shí)為了防振和減少噪音，允許機(jī)械泵設(shè)置在靠近真空室的泵房?jī)?nèi)。

(2)機(jī)械泵(包括羅茨泵)有振動(dòng)，要防止振動(dòng)波及整個(gè)系統(tǒng)，通常用軟管減振。軟管有金屬和非金屬的兩種，不論采用那種軟管要保證在大氣壓力作用下不被壓癟。

(3)真空系統(tǒng)建成后，應(yīng)便于測(cè)量和檢漏。生產(chǎn)實(shí)際告訴我們，真空系統(tǒng)在工作過程中，經(jīng)常容易出現(xiàn)漏氣而影響生產(chǎn)。為了迅速找到漏孔，要進(jìn)行分段檢漏，因此每一個(gè)用閥門封閉的區(qū)間，至少要有一個(gè)測(cè)量點(diǎn)，以便測(cè)量和檢漏。

(4)真空系統(tǒng)中配置的閥門和管道，應(yīng)使系統(tǒng)抽氣時(shí)間短，使用方便，安全可靠。一般在有一個(gè)蒸氣流泵作為主泵(擴(kuò)散泵或油增壓泵)；和一個(gè)機(jī)械泵作為前級(jí)泵的系統(tǒng)上，除了有前級(jí)管道(蒸氣流泵串聯(lián)機(jī)械泵的管道)外，還應(yīng)有一個(gè)預(yù)真空管道(真空室直通機(jī)械泵的管道)。其次是在真空室和主泵之間設(shè)有高真空閥門(也稱主閥)，在前級(jí)管道上設(shè)有前級(jí)管道閥(也叫低真空閥)；在預(yù)真空管道上設(shè)置預(yù)真空管道閥(稱低真空閥)。主泵上的高真空閥門，通常不能在閥蓋下為真空狀態(tài)，而閥蓋上為大氣壓狀態(tài)下開閥，這要通過電氣聯(lián)鎖保證安全。前級(jí)管道閥和預(yù)真空管道閥要考慮到閥本身能在大氣壓下開閥。以蒸氣流泵為主泵的真空系統(tǒng)，主閥要蓋向主泵，前級(jí)管道閥也要蓋向主泵，預(yù)真空管道閥蓋向真空室。在機(jī)械泵入口管道上，應(yīng)設(shè)一個(gè)放氣閥門。當(dāng)機(jī)械泵停止工作時(shí)，能立即打開此閥，使機(jī)械泵入口通入大氣，防止機(jī)械泵油返流到管路中，因此該閥要和機(jī)械泵電氣聯(lián)鎖。真空室上也要設(shè)置放氣閥門，給裝料和取料時(shí)用。該閥設(shè)置的位置要考慮到放氣時(shí)，氣體沖力較大，防止因沖力過大而破壞真空室內(nèi)的薄弱構(gòu)件。放氣閥的大小與真空室的體積有關(guān)，要考慮放氣時(shí)間不能太長，影響工作。

(5)真空系統(tǒng)的設(shè)計(jì)應(yīng)保證排氣穩(wěn)定可靠，安裝拆卸維修容易，操作方便，各元件間的連接有互換性。為了達(dá)到工作中排氣穩(wěn)定，要求主泵性能穩(wěn)定，各閥門運(yùn)轉(zhuǎn)靈活，密封可靠，系統(tǒng)中各元件的接頭不漏氣，真空室密封性能好，備真空元件連接采用標(biāo)準(zhǔn)尺寸，保證有互換性。在真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)中，原則上講，每一個(gè)封閉管路尺寸應(yīng)有一個(gè)可調(diào)尺寸。這個(gè)可調(diào)尺寸在過去設(shè)計(jì)中，都采用軟管來解決，現(xiàn)在設(shè)計(jì)系統(tǒng)時(shí)，多數(shù)不采用軟管。而采用提高真空元件加工尺寸精度和利用連接法蘭上的密封橡膠圈來解決安裝誤差，這樣可以提高系統(tǒng)強(qiáng)度和剛度，減少用于系統(tǒng)上的支架，更加美觀。

(6)真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)中要采用新技術(shù)，做到自動(dòng)控制和聯(lián)鎖保護(hù)。隨著真空技術(shù)的發(fā)展，要求在整個(gè)抽氣過程中能夠進(jìn)行自動(dòng)操作，如采用真空繼電器控制羅茨泵在1333Pa壓強(qiáng)下啟動(dòng)工作。采用水壓繼電器控制蒸氣流泵的水壓在某一個(gè)壓力上，當(dāng)水壓不足或斷水時(shí)，能夠立即斷電并發(fā)出警報(bào)。防止泵被燒壞。對(duì)于復(fù)雜真空系統(tǒng)和工藝過程及參數(shù)要求嚴(yán)格的設(shè)備應(yīng)采用微機(jī)程序控制，更加安全可靠。

(7)真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)中要求做到節(jié)省能源，降低成本，使用方便可靠。做到這一點(diǎn)有很大的經(jīng)濟(jì)意義，它可使所設(shè)計(jì)的真空應(yīng)用設(shè)備有廣泛的市場(chǎng)銷路。